MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING是中科院3區(qū)。

該刊創(chuàng)刊于1967年，年發(fā)文量在455篇，依據(jù)往期投稿者經(jīng)驗(yàn)反饋，該刊的審稿速度是約1.7個(gè)月。

半導(dǎo)體加工中的材料科學(xué)為討論光電子、傳感器、探測(cè)器、生物技術(shù)和綠色能源的功能材料和器件的新加工、應(yīng)用和理論研究提供了一個(gè)獨(dú)特的論壇。每一期將致力于提供當(dāng)前的快照的見(jiàn)解、新成果,突破和未來(lái)趨勢(shì)等不同領(lǐng)域的微電子、能源轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)、通信、生物技術(shù)(圖)催化、納米薄膜技術(shù),混合和復(fù)合材料、化學(xué)處理、氣相沉積、設(shè)備制造、和造型的支柱先進(jìn)半導(dǎo)體加工和應(yīng)用。覆蓋范圍將包括:用于亞微米設(shè)備的先進(jìn)光刻技術(shù);蝕刻及相關(guān)課題;離子注入;損害演化及其相關(guān)問(wèn)題;等離子體和熱CVD;快速熱處理;先進(jìn)的金屬化和互連方案;介質(zhì)層薄，氧化;溶膠-凝膠法加工;化學(xué)浴和(電)化學(xué)沉積;化合物半導(dǎo)體加工;新型非氧化物材料及其應(yīng)用(宏觀)分子和雜化材料;分子動(dòng)力學(xué)、從頭算方法、蒙特卡羅方法等;分立電路和集成電路的新材料和新工藝;磁性材料和自旋電子學(xué);異質(zhì)結(jié)構(gòu)和量子器件;半導(dǎo)體光電特性工程;晶體生長(zhǎng)機(jī)制;可靠性，缺陷密度，固有雜質(zhì)和缺陷。

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING中科院分區(qū)基礎(chǔ)版：

大類(lèi)學(xué)科	分區(qū)	小類(lèi)學(xué)科	分區(qū)	Top期刊	綜述期刊
工程技術(shù)	3區(qū)	ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學(xué)：綜合 PHYSICS, APPLIED 物理：應(yīng)用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚態(tài)物理	3區(qū) 4區(qū) 3區(qū) 3區(qū)	否	否

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING中科院分區(qū)升級(jí)版：

大類(lèi)學(xué)科	分區(qū)	小類(lèi)學(xué)科	分區(qū)	Top期刊	綜述期刊
工程技術(shù)	3區(qū)	ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學(xué)：綜合 PHYSICS, APPLIED 物理：應(yīng)用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚態(tài)物理	3區(qū) 3區(qū) 3區(qū) 3區(qū)	否	否

拓展閱讀：

問(wèn)題一：什么是中科院分區(qū)?

由于不同學(xué)科之間的SCI期刊很難進(jìn)行比較和評(píng)價(jià)，中國(guó)科學(xué)院國(guó)家科學(xué)圖書(shū)館世界科學(xué)前沿分析中心(原中國(guó)科學(xué)院文獻(xiàn)情報(bào)中心)，對(duì)目前SCI核心庫(kù)加上擴(kuò)展庫(kù)期刊的影響力等因素，以年度和學(xué)科為單位，對(duì)SCI期刊進(jìn)行4個(gè)等級(jí)的劃分。一般而言，發(fā)表在1區(qū)和2區(qū)的SCI論文，通常被認(rèn)為是該學(xué)科領(lǐng)域的比較重要的成果。期刊分區(qū)表自2004年發(fā)布，延續(xù)至今;2019年推出升級(jí)版，實(shí)現(xiàn)基礎(chǔ)版、升級(jí)版并存過(guò)渡，2022年只發(fā)布升級(jí)版。2004年至2023年《期刊分區(qū)表》數(shù)據(jù)每年底發(fā)布，從2025年開(kāi)始改為年初發(fā)布。

問(wèn)題二：什么是中科院分區(qū)基礎(chǔ)版

將JCR中所有期刊分為數(shù)學(xué)、物理、化學(xué)、生物、地學(xué)、天文、工程技術(shù)、醫(yī)學(xué)、環(huán)境科學(xué)、農(nóng)林科學(xué)、社會(huì)科學(xué)、管理科學(xué)及綜合性期刊13 大類(lèi)。每個(gè)學(xué)科分類(lèi)按照期刊的3年平均影響因子高低，分為4四個(gè)區(qū)，呈金字塔狀分布：前5%為一區(qū)，6%~20%為二區(qū)，21%~50%為三區(qū)，后50%為四區(qū)。

問(wèn)題三：中科院分區(qū)升級(jí)版

2022年開(kāi)始，中科院開(kāi)始只發(fā)布分區(qū)表升級(jí)版，升級(jí)版作了兩方面升級(jí)：

(1)評(píng)價(jià)指標(biāo)上，采用“期刊超越指數(shù)”替代傳統(tǒng)的影響因子，突破均值指標(biāo)的瓶頸，更客觀、更全面地反映期刊整體水平，解決了學(xué)科差異、文獻(xiàn)類(lèi)型差異、偏態(tài)分布等問(wèn)題。

“期刊超越指數(shù)”的計(jì)算方法：從期刊A選擇的任一論文，其引用數(shù)大于從其它期刊選擇的一篇相同主題、相同文獻(xiàn)類(lèi)型論文的引用數(shù)的概率。

(2)學(xué)科分類(lèi)上，采用“Paper-level 歸一化分類(lèi)體系”，把每篇論文都劃分到一個(gè)主題，和傳統(tǒng)情況下的期刊屬于什么學(xué)科，論文就屬于什么學(xué)科的分類(lèi)有很大差別。

問(wèn)題四：我們選刊的時(shí)候該刊哪個(gè)分區(qū)?

其實(shí)兩種分區(qū)方式都比較權(quán)威，主要取決于您的單位更認(rèn)可哪種。