【雜志簡介】

　　《真空》雜志是中國真空界主要雜志之一。自1994年真空雜志轉換經營機制以來，由我國真空企業界實力雄厚的廠家與雜志社聯辦成立董事會，并由真空學術界著名學者組成編委會。社會效益與經濟效益與日俱增，在國內真空界享有盛譽。自1989年公開發行以來，被美國、英國、德國、日本、意大利、韓國以及港澳地區越來越多的海外學者所關注。

　　真空雜志系國家級刊物，首批列入我國“中文核心期刊要目總覽”中工業技術類核心期刊，在此類30種期中排列第八名。同時列為“中國科技論文統計與分析”首批統計刊源。近年又首批入編“中國學術期刊光盤版”。由于本刊特色。30多年來在我國真空界享有盛名，頗受廣大讀者歡迎。為我國真空業界首選技術刊物。發行全國24個省市、自治區，并與境內外多種刊物交換收存。

　　【收錄情況】

　　國家新聞出版總署收錄　獲獎情況

　　工程技術類核心期刊

　　中國期刊網、光盤國家工程中心用刊

　　國外數據庫收錄

　　美國化學文摘

　　【欄目設置】

　　主要欄目：學術論文、新產品開發、實驗技術、系列講座、綜合評述、設計與工藝、經驗介紹、市場預測、產品廣告、知名廠商、設備維護、知識問答等。

　　雜志優秀目錄參考：

　　中國散裂中子源(CSNS)真空系統研制 董海義，宋洪，李琦，楊奇，趙晶晶，黃濤，王鵬程，關玉慧，劉鵬飛，劉佳明，DONG Hai-yi，SONG Hong，LI Qi，YANG Qi，ZHAO Jing-jing，HUANG Tao，WANG Peng-cheng，GUAN Yu-hui，LIU Peng-fei，LIU Jia-ming

　　動態相對法真空標準裝置簡介 國家真空設備質量監督檢驗中心

　　EAST高頻彈丸注入裝置真空系統設計 姚星佳，胡建生，李長征，陳躍，YAO Xing-jia，HU Jian-sheng，LI Chang-zheng，CHEN Yue

　　基于Visual Basic的真空系統計算軟件開發 王莉君，羅陽，華海宇，WANG Li-jun，LUO Yang，HUA Hai-yu

　　太空旅游燃熱點科普教育新突破--510所《載人航天與太空旅游》正式出版 沈陽真空雜志社

　　浮動式渦旋干泵的結構設計與特點 倪詩茂，NI Shi-mao

　　AVS上海薄膜會議

　　基于分子蒸餾原理的金屬銫提純實驗系統研制 馬寅光，李得天，陳江，王驥，黃良育，成大鵬，劉蘇民，MA Yin-guang，LI De-tian，CHEN Jiang，WANG Ji，HUANG Liang-yu，CHENG Da-peng，LIU Su-min

　　中國知網與真空雜志社聯合聲明 中國知網、真空雜志社

　　真空噴射霧化過程中噴嘴口的流動模型計算與數值分析 韓宇，李建昌，HAN Yu，LI Jian-chang

　　大口徑低溫泵之制冷機R65的研制 熊鷹，杜建偉，徐海波，王為民，XIONG Ying，DU Jian-wei，XU Hai-bo，WANG Wei-min

　　真空自耗電弧爐恒熔速控制系統改造 王勃，陳鼎，孫足來，WANG Bo，CHEN Ding，SUN Zu-lai

　　多晶硅鑄錠爐擴容后的安全性分析及安全措施研究 周社柱，王鋒，張桂蕓，王成君，馮宏亮，ZHOU She-zhu，WANG Feng，ZHANG Gui-yun，WANG Cheng-jun，FENG Hong-liang

　　中國農機化投稿：機械電氣設備故障的應急處理

　　摘 要：現代工程的進行離不開機械電氣設備，電氣設備在數年來的發展下愈加機械化與電氣化，極大地提高了工程效率。然而，機械電氣設備在愈加智能化、自動化的同時會出現許多故障，這些故障或多或少地影響到工程的正常進行，引起一定的經濟損失。為了避免因設備故障影響工程實施，相關工作人員必須針對設備故障進行應急處理。該文試探討工程中機械電氣設備的常見故障，包括開關故障、轉子回路的短路故障、啟動電抗器的接地故障，以及分別對應的應急處理措施。

　　關鍵詞：工程機械,電氣設備,設備故障,故障應急處理

　　機械電氣設備的功能隨著科學技術的提高具有越來越高的科技含量，對于企業的生產具有極為重要的意義。然而，或因設備本身設計的缺陷、制造過程中的不足，或因外部環境惡劣、人員操作不當，機械電氣設備會出現影響到設備正常運行的故障，常規維修固然可以最好地保證設備功能正常，但是會耗費較長的時間，企業無法接受停工造成的經濟損失，為此，必須要有應急措施來處理設備故障。

　　真空最新期刊目錄

掩模基板鍍膜工藝對鉻膜與玻璃基底之間黏附力的影響————作者：李翼;李偉;徐根;楊旭;

摘要：為提高掩模基板鉻膜層與玻璃基底之間的黏附力，在Q6025石英玻璃基板上采用磁控濺射研究了基底溫度、濺射氣氛和退火處理對膜基黏附力的影響。鍍制三層鑄膜用兩種黏附力監控方法，用SEM對不同玻璃基底溫度以及混合氣氛下濺射得到的鉻膜層進行了表征和微觀形貌分析。研究結果表明：將玻璃基底加熱到160℃能有效提升鉻膜層與玻璃基底之間的黏附力。混合氣氛下制備的鉻膜層微觀結構由50～60 nm的純鉻大顆粒和10～2...

線圈尺寸和布局對12寸碳化硅單晶生長感應爐溫度場的影響研究————作者：丘榮生;李建昌;

摘要：大尺寸碳化硅（SiC）單晶是制備高質量功率器件和射頻器件的關鍵，其主流生長方法為物理氣相輸運，而生長腔溫度場直接影響其生長速率和質量。本文對12寸SiC單晶生長真空感應爐爐內溫度場進行數值仿真，研究了感應線圈尺寸和布局參數對溫度場的影響。結果表明：降低線圈位置或減小線圈與坩堝高度比，可減小籽晶的徑向溫度梯度，增加生長腔軸向溫度梯度，從而改善晶體質量，并提高晶體生長速率；相比于0 mm的線圈位置，當...

電子束熔煉爐射線屏蔽的設計與計算————作者：牟鑫;馬強;馬海玲;高元;劉長青;葛家希;李心可;

摘要：電子槍是電子束熔煉爐的核心部件之一，其工作時會在熔煉室內產生大量X射線。熔煉室壁是簡單且可有效屏蔽輻射的唯一屏障。為保證人員安全并滿足國家相關標準要求，結合理論計算與幾何結構分析，從爐壁板厚、內外板焊縫搭接形式、爐門縫隙拼接結構、觀察窗鉛玻璃厚度等角度對熔煉室進行了射線屏蔽設計，并通過現場測量對熔煉室的射線屏蔽效果進行了測試。結果表明，爐外人員可達區域輻射劑量率與環境本底相當，熔煉室可有效屏蔽X射...

退火工藝對一種超級鐵素體不銹鋼管材TCP相析出的影響————作者：孟濤;鄭世豪;劉恩澤;譚政;寧禮奎;

摘要：以冷軋態29Cr-4Mo-TiNb超級鐵素體不銹鋼冷軋管材為對象，通過光學顯微鏡（OM）、掃描電鏡（SEM）及能譜分析（EDS）等方法，系統研究了退火工藝對該鋼種冷軋管材微觀組織中TCP相析出規律的影響。結果表明，29Cr-4Mo-TiNb鋼中夾雜物主要為復合型Al2O3·TiN·Nb(C,N)；在850～950℃溫度區間，保溫2 min后管材中便有Laves相析出，先析出的Laves相促進了后析...

熱等靜壓爐耐壓試驗升壓時間的計算————作者：李忠仁;楊洪帥;王穎;宋家興;馬源辰;張旺;顧玉剛;

摘要：熱等靜壓爐作為一種高溫超高壓設備，其介質存儲有高爆炸當量的能量，做好安全控制尤為重要。為便于指導和實施耐壓試驗，本文介紹了設備承壓部件在耐壓試驗中的受力特點及介質壓縮特性，以HIP1025型熱等靜壓爐為例，對耐壓試驗的升壓時間進行了計算，給出了縮短升壓時間、降低操作風險的可行辦法，并編制了工程計算軟件，為超高壓容器實現耐壓試驗的參數化、自動化和數字化管理提供了工具

真空熔煉ZTA15鈦合金鑄件打壓泄漏失效分析————作者：劉義輝;賈國成;王衛超;麻毅;喬海濱;戰春鳴;

摘要：某航天領域關鍵ZTA15鈦合金箱體經真空熔煉澆鑄及真空熱處理工藝處理制備而成。然而，其在組裝后的打壓測試中頻繁出現側壁泄漏問題。為深入探究失效原因，本研究采用故障樹分析法系統性地排查潛在原因，成功精準定位了問題根源。在此基礎上，結合理化測試手段對失效機理進行了剖析，驗證了定位結果的準確性。通過故障復現實驗將研究結果推廣至類似情境，為相關行業提供參考。基于上述綜合研究，提出了一套針對性的整改方案，有...

大型超導線圈熱處理系統溫度均勻性研究————作者：陳博龍;李忠仁;王穎;吳逸飛;蘇寧;宋家興;車恩林;劉君;

摘要：針對大型超導線圈在熱處理過程中，必須在大尺寸空間和長時間范圍內保證爐腔內部溫度均勻性的要求，采用1/18爐腔模型對加熱系統內部的溫度場分布和流場狀態進行熱流固多場耦合有限元分析，并結合分析結果進行原型搭建，對實際工況下的加熱系統溫度場進行了數據采集和分析。結果表明：仿真模型中超導線圈在210℃升溫工況下的均溫性在±25℃之內，保溫工況下的均溫性在±5℃之內，滿足均溫性要求；試驗數據和仿真數據結果一...

氫化脫氫制備鋯-2粉末過程的工藝安全分析————作者：王振宏;王本龍;車恩林;蘇寧;劉君;

摘要：氫化脫氫工藝屬常見的化學反應方式，通過相關化合物內的氧化物與氫原子發生化學反應，實現氫氣的去除或添加，進而改變化合物內部構成。本文詳細分析了氫化脫氫制備鋯-2粉末的工藝設計流程，全面探究其用途與使用背景。通過氫化、粗破碎與細破碎、脫氫、二次粗破碎與細破碎、鈍化與分離等步驟探索該工藝技術操作的安全性，明確其操作范圍，充分發揮該工藝優勢，極大提升工藝制備效果，滿足化合物性質調整需求

超薄柔性基材真空雙面磁控濺射卷繞鍍銅關鍵技術研究————作者：羅軍文;

摘要：詳細介紹了超薄柔性基材真空雙面磁控濺射卷繞鍍銅設備的工作原理、結構組成和關鍵技術設計要點，分析了影響鍍膜質量與生產效益的主要因素，重點論述了超薄基材鍍膜技術難點和解決方案。通過優化卷繞系統輥系布局和磁控濺射系統結構，以及在鍍膜輥面增加絕緣陶瓷層，有效解決了薄膜熱損傷問題。該優化方法有利于提升新能源鋰電池復合銅箔材料的品質和生產效率，加速新能源鋰電池復合集流體負極材料的批量化生產

大型金屬密封真空爐的研制和溫度均勻性測量————作者：唐榕;關杰;盧少波;李潤霞;韓永超;

摘要：真空電子器件作為通信裝備的核心器件，在國防尖端技術和空間通信等領域發揮著至關重要的作用。近年來，太赫茲等新技術的快速發展對真空電子器件的性能提出了更高的要求，亟需更新換代，這促使高指標、高可靠性和長壽命工藝設備的需求量日益增長。超高真空爐作為此類工藝中的關鍵設備之一，可在潔凈高真空環境下進行熱處理和焊接作業等，實現材料脫氣、凈化和永久連接。其核心性能主要體現在高極限真空度的獲取、爐內溫度的均勻分布...

真空碳管爐參比樣本法熱導率測量與穩定性分析————作者：戰春鳴;王立剛;范昌龍;張丕顯;王杰;鄂東梅;王玲玲;喬忠路;劉詩夢;宋青竹;

摘要：基于參比樣品法原理，創新設計了一套材料有效熱導率測量裝置，并深入評估了其工作穩定性。首先利用碳纖維氈驗證測量裝置的穩定性，然后測試不銹鋼、銅及石墨在不同條件下的熱導率，并與理論值進行了對比分析，最后針對碳纖維氈材料，系統研究了溫度、環境氣氛及樹脂含量對其熱導率的影響。結果表明：該裝置在0～700℃區間對不銹鋼與銅材料的熱導率測量準確性較高，但不適用于石墨材料；隨溫度與樹脂含量上升，碳纖維氈的熱導率...

浮空器囊體材料連接可靠性評估方法————作者：董莉;姚芮;

摘要：囊體材料的連接可靠性對浮空器的穩定運行具有重要影響，為保證囊體材料片幅連接后的可靠性，選取不同熱合參數對兩種面密度不同的囊體材料及配套熱合布進行了熱合試驗。在熱合剝離強度滿足指標要求的前提下，通過高溫蠕變試驗進一步對熱合部位進行了性能評估。結果表明：隨著熱合時間延長，囊體材料的熱合剝離強度逐漸增加；面密度較高的囊體材料拉伸強度和剝離強度均較高；剝離強度滿足指標的熱合樣件在高溫蠕變試驗后也可能出現脫...

第十七屆國際真空科學與工程應用學術會議（VSEA-17）會議征稿通知

摘要：<正>第十七屆國際真空科學與工程應用學術會議（VSEA-17），將于2025年8月8～10日在沈陽東北大學隆重召開。其前身為國際真空冶金與表面工程學術會議，是真空科技領域的重要系列學術會議，由東北大學、中國真空學會下屬的多個分支委員會（真空冶金專業委員會、真空工程專業委員會、真空咨詢工作委員會等）、真空技術與物理全國重點實驗室、真空技術裝備國家工程研究中心等聯合舉辦，每兩年召開一次。參...

東北大學第二十一期《真空技術》能力提升研討會通知

摘要：<正>東北大學將于2025年8月3日～8日舉辦第二十一期《真空技術》能力提升研討會，第二十一期《真空技術》能力提升研討會將由中國真空學會真空冶金專業委員會、真空工程專業委員會和真空咨詢工作委員會等諸多學術團體聯合主辦，更具權威性和影響力；同時，將對會議內容做進一步改革，使會議更貼近用人需要和工程實際。自1958年創辦全國第一個真空技術及設備本科專業以來，東大真空現已成為全國唯一的具備本...

第二十三講 離子注入與離子輔助沉積技術————作者：張以忱;

摘要：<正>3.7液態金屬離子源（LMIS離子源）液態金屬離子源（LMIS離子源）是一種高亮度、小束斑的離子源。其離子束經聚焦后，可形成納米量級的小束斑離子束，被應用于離子注入、離子束曝光、離子束刻蝕等領域。LMIS離子源有針形（見圖17(a)）、同軸形和毛細管形等三種類型。LMIS離子源對液態金屬的要求包括：（1）與容器和鎢針不發生任何反應；（2）能與鎢針充分均勻地浸潤；（3）具有低熔點低...

控制鑭熱還原制備鐿原子蒸氣密度的工藝研究————作者：胡林松;金策;

摘要：目前，工業上應用鑭熱還原法制備鐿的反應溫度一般設置為1200 ℃左右，該溫度下金屬鐿的收率和純度很高，但還原反應十分劇烈，而一些特定工業領域對反應產物的原子蒸氣密度提出了嚴格要求。針對該問題，本文以高純氧化鐿和鑭屑為原料，對鑭熱還原制備鐿的工藝和還原反應熱力學進行分析，研究了還原反應溫度和還原劑過量比對金屬鐿原子蒸氣密度的影響規律。結果表明：650 ℃下存在微量還原反應；700～800 ℃鐿原子蒸...

Sc₂O₃- Y₂O₃- ZrO₂熱障涂層陶瓷材料的微觀結構及力學性能————作者：郭毛毛;謝敏;王志剛;牟仁德;宋希文;張永和;

摘要：為提高傳統YSZ熱障涂層的綜合性能，采用多元稀土氧化物摻雜對其進行改性，利用固相法合成了不同Sc₂O₃、Y₂O₃配比（總摩爾分數為8%）的Sc₂O₃-Y₂O₃-ZrO₂（ScYSZ體系）陶瓷材料，測試分...

工業加速器用C波段小型化高功率多注速調管————作者：衛博;李冬鳳;王加松;李闖;王剛;

摘要：小型化高功率多注速調管是無損檢測、醫療及工業輻照用電子直線加速器的理想功率源。本文簡要介紹了北京真空電子技術研究所研制的一款新型C波段3MW小型化高功率多注速調管，對其采用的同軸多注諧振腔、周期反轉永磁聚焦系統以及大尺寸盒形輸能窗等技術進行了說明。器件測試結果表明，其峰值輸出功率大于3.3MW，平均功率大于6.6kW，質量輕于25kg，可滿足工業加速器的使用要求，在此基礎上可形成輸出功率滿足1～5...

射頻等離子體去膠及表面清洗工藝技術研究————作者：田文娟;賀曉彬;焦斌斌;

摘要：簡要介紹了等離子去膠和清洗的化學、物理變化過程；系統分析了決定去膠效果和去膠均勻性的因素，并給出了相應的方案和最優參數匹配原理，通過實驗研究了不同工藝條件下微米級及納米級Ar-F光刻膠的最優去除工藝參數；探討了等離子體清洗反應原理、工藝過程，以及等離子體清洗在材料表面改性方面的應用

新型材料瓷磚粘合劑真空穩定狀態下制備與性能研究————作者：盧國享;王中荔;

摘要：為確保瓷磚粘合劑制備過程中的穩定性并優化其粘接性能，研究了結合真空技術的新型材料瓷磚粘合劑的制備方法與性能。根據標準瓷磚尺寸制備瓷磚粘合的混凝土表面試塊，并根據室內裝飾施工場景為其涂刷防水材料。對鄰苯二甲酸氫鉀和甲苯二異氰酸酯進行真空合成，制備瓷磚粘合劑預聚物。通過邁克爾加成反應使粘合劑預聚物改性，降低其生物毒性。利用真空干燥箱對改性粘合劑預聚物進行干燥處理，調控干燥過程，獲得粘合劑初產物。利用真...

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